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基本的な観察の流れ

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1. 状態確認

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   • 装置の状態を確認して実験開始可能かどうかを判断する。 </aside>
   1. TEM センターを表示する。
   2. TC　->View -> Condition Monitor
      1. Status タブでアラート表示が無いこと
   3. TC ->View → Lens/Deflector Monitor
      1. レンズ電源がOnになっていること
         1. A/D Value で値が入っている（0でない）こと
   4. TC → View → Valve / Vacuum Monitor
      1. PiG1,3,5,6 がSttus[Evac Ready]
      2. Penning Gauge がStatus[Ready]
   5. TC→TEM System Task Bar → Vacuum
      1. 3x10^-5Pa 以下
   6. TC→TEM System Task Bar → HT/Beam Condition
      1. HT 200kV（使用する加速電圧）になっていること。
         1. 0ｋVの場合は昇圧

2. ACD・LN2補給

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   • ACD（試料汚染防止装置）にLN2を補給する。
   • https://www.youtube.com/watch?v=oVTA8WjlJ5Q </aside>
   1. カメラ・操作盤をシートで養生する。（破損防止）
   2. 前室でステンレス容器にLN2をくみ出す。
   3. 筐体左側の踏み台を登り、鏡筒カバーを開ける。
      1. くみ出したLN2の容器は踏み台の上に仮置きする。
   4. 寒剤補給口にステンレス製ロートを差し込む。
   5. LN2をロートに注ぐ。（補給口から少し溢れる）
      1. しばらくして容器の温度が下がると蒸発量が一時的に増えて寒剤が吹き上がる場合があります。
      2. 吹き上がった場合は、追加補充します。
   6. 補給孔にフタをかぶせる。
   7. 鏡筒カバーを閉じる。
   8. 余ったLN2はデュワーに戻す。

3. 試料セット

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   • 試料ホルダに試料をとりつける。
   • 必要に応じてクリーニングする。（原則クリーニングは行う）
   • 試料は十分に乾燥していること。 </aside>
   1. 予備排気装置から使用するホルダを取り出す。
      1. （参照）操作手順：ARM200FーSTEM：ホルダーステーション（予備排気装置） https://www.youtube.com/watch?v=mgVgxHoPq-Y
   2. 試料ホルダに試料を取り付ける。
      1. （参照）ARM200F 試料セット（2軸傾斜ホルダ）　-　試料取り付け
   3. 試料をクリーニングする
      1. （参照）操作手順：ARM200FーSTEM：イオンクリーナー https://www.youtube.com/watch?v=lDfPUF1rqck

4. １軸ホルダ取り外し

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   休止中は標準試料を取り付けた１軸ホルダが挿入されている。（ベークを除く）

   </aside>

   1. 鏡筒から試料ホルダを取り出す
      1. （参照）操作手順：ARM200FーSTEM：ホルダ引抜き https://www.youtube.com/watch?v=FPOYlfUStVs

5. ホルダ挿入

   1. 試料ホルダを鏡筒に挿入する
      1. （参照）操作手順：ARM200FーSTEM：ホルダ挿入 https://www.youtube.com/watch?v=LSUxkeqsViI

6. ビーム出し・設定呼び出し・ビーム確認（スクリーン）

   1. 電子線を発生し観察を開始する。
      1. （参照）操作手順：ARM200FーSTEM：ビーム出し https://www.youtube.com/watch?v=llNTooI6ugc

7. （検鏡・撮影－＞次回以降）

8. 中断・再開

   1. 観察を一時中断・再開する

9. ビーム停止

   1. Beam valve -close
   2. Emission - off

10. ホルダ取り出し

    1. 鏡筒から試料ホルダを取り出す
       1. （参照）操作手順：ARM200FーSTEM：ホルダ引抜き https://www.youtube.com/watch?v=FPOYlfUStVs

       ---

11. 試料取り外し

    1. 試料ホルダから試料を取り外し、ホルダを真空引きする。
       1. （参照）ARM200F 試料セット（2軸傾斜ホルダ）　-　試料取り外し

12. １軸ホルダ挿入

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    調整用試料のコンタミ防止とゴニオのリーク防止のために、不使用時は１軸ホルダを挿入しておく。（ベーク時は除く）

    </aside>

    1. １軸ホルダを挿入
       1. （参照）操作手順：ARM200FーSTEM：ホルダ挿入 https://www.youtube.com/watch?v=LSUxkeqsViI

13. ACDヒート

    1. ACD容器に残ったLN2を排出する
       1. （参照）操作手順：ARM200FーSTEM：ACDヒート https://www.youtube.com/watch?v=rrejd8LCVOI

14. ログ記録

    1. 使用ログをつける

ARM200F：初級：通信エラー対策