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誤った取り扱いにより。ダウンタイムや故障の原因となりやすい項目。高額な修理費用が必要となる場合もある

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  1. ホルダ
  2. 対物レンズ付近
    1. 試料脱落(非磁性)
    2. 試料脱落(磁性体)
    3. ポールピースキャップ脱落・変形
    4. インギャップ絞り破損
  3. EDS
  4. カメラ・検出器
  5. 真空不良
    1. SIP損耗
    2. エミッタ損耗
  6. コンディショニングハンドル