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誤った取り扱いにより。ダウンタイムや故障の原因となりやすい項目。高額な修理費用が必要となる場合もある
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ホルダ
対物レンズ付近
試料脱落(非磁性)
試料脱落(磁性体)
ポールピースキャップ脱落・変形
インギャップ絞り破損
EDS
カメラ・検出器
真空不良
SIP損耗
エミッタ損耗
コンディショニングハンドル