1. 本体（鏡筒・操作パネル・PC等）
2. 高圧タンク・レンズ電源
3. EDS（検出器・アナライザ）
4. GATAN類（室内・前室）
5. コンプレッサー
6. 電源ユニット
7. 収差補正装置
8. 冷却系（チラー・waterunit・コレクタ用）
9. アクティブ除震・磁場キャンセラー
10. 輻射パネルチラー
11. ホルダステーション・イオンクリーナー
12. ソララス（B13)