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本ページはJEM-ARM200Fのクイックマニュアルです。 内容は変更される場合があります。 実際に装置を使用する場合は、事前にトレーニングを受けて下さい。

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<aside> 💡 試料・試料ホルダは破損しやすい為、丁寧に取り扱うこと。

• 試料ホルダのOリングから先を素手で触れないこと。（皮脂が付着し真空度の悪化につながる）
• 工具類（ピンセット・ドライバー等）が変形していないこと。
  • 工具類の先端を素手で触れないこと。
• 作業はデジタル顕微鏡（もしくは実態顕微鏡）観察下で行うこと </aside>

試料取り付け

1. 準備
   1. 試料ホルダー台をデジタル顕微鏡（もしくは実体顕微鏡）下に設置する。
   2. 工具類を作業しやすい位置にまとめておく。
      1. 精密ピンセット
      2. 真空ピンセット
      3. 専用ドライバー
      4. シリコンマット（試料一時置き場）
   3. デジタル顕微鏡の電源をOnにし、試料交換台にフォーカスを合わせておく。
2. 試料準備
   1. 試料の状態
      1. 十分に乾燥していること。（真空を悪化させ無い為）
      2. 十分固定されていること。（鏡筒内で破損しないため・観察中にドリフとしない為）
      3. 磁化が小さいこと（対物レンズの磁界の影響を受けないようにするため）
      4. 観察対象部位周辺が十分に薄い（100nm以下）と考えられること。
   2. 試料を取り出し、シリコンマット上に仮置きしておく。
      1. ホルダ搭載時に取り扱いやすいようにしておく。
         1. 薬包紙等においてもよい。
         2. グリッドケースから直接取り出してもよい。（精密ピンセット使用時）
3. ホルダ準備

   1. 使用するホルダをホルダステーションから取り出す。（ここでは2軸ベリリウムホルダ）

      1. ホルダステーションの電源On

      2. バルブOpen

         1. 大気リークされるまで待つ。

      3. ホルダ取り出し。

         1. ステージのY軸傾斜が0であることを確認。（ホルダを直接見て確認）

         <aside> 💡 ステージが傾斜している場合は、ホルダー台に載せない。 ホルダ破損の恐れ。

         </aside>

   2. 試料ホルダー台にホルダをセットする。（ホルダ先端を試料交換台に載せる）

   3. ホルダサポートのネジでホルダを固定する。

   4. ホルダステーションの真空引き

      1. ダミープラグ/もしくはホルダを挿入
      2. [EVAC]ボタンを押す
         1. TMP　MONITORを確認
            1. ACC　が点灯する
            2. RUNNING　が点灯するまで待つ。
      3. バルブClose
      4. ホルダステーションの電源Off
4. 試料搭載

   1. 専用ドライバーで固定ネジを緩める（3回転）。

      <aside> 💡 回しすぎるとネジが外れる。 十分緩めないと、プレート押さえバネが動かない。

      </aside>

   2. 精密ピンセットでプレート押さえバネを試料固定プレート上から動かす。

   3. 試料固定プレートおよび、スペーサーを取り外し、シリコンマット上へ仮置きする。

      • （精密ピンセット・真空ピンセットを使用する）

   4. 真空ピンセットを使用し、試料をホルダ先端に載せる。

      • （観察面を下向き）

   5. 試料の上にスペーサーを載せる。

      • （試料厚さが100um以上の場合は不要。）

   6. スペーサーの上に試料固定プレートを載せる。

   7. プレート押さえバネを試料固定プレート上へ移動させる。（2箇所）

   8. 専用ドライバーで固定ネジを締める。（2箇所）

      <aside> 💡 強く締めすぎないこと。（丁度の強さ） 緩んでいないこと

      </aside>

試料取り外し

<aside> 💡 試料取り付けと逆の手順

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1. 鏡筒から試料ホルダを引き抜く
2. 試料ホルダー台にホルダをセットする。（ホルダ先端を試料交換台に載せる）
3. ホルダサポートのネジでホルダを固定する。
4. 試料取り外し
   1. 専用ドライバーで固定ネジを緩める（3回転）。
   2. 精密ピンセットでプレート押さえバネを試料固定プレート上から動かす。
   3. 試料固定プレートおよび、スペーサーを取り外し、シリコンマット上へ仮置きする。
   4. 試料をホルダ先端から試料を取り外しシリコンマットへ載せる。
      1. 直接グリッドケースへもどしても良い。
   5. ホルダ先端にスペーサーを載せる。
   6. スペーサーの上に試料固定プレートを載せる。
   7. プレート押さえバネを試料固定プレート上へ移動させる。（2箇所）
   8. 専用ドライバーで固定ネジを締める。（2箇所）
5. ホルダステーションにホルダを戻す。
   1. ホルダステーションの電源On
   2. バルブOpen
      1. 大気リークされるまで待つ。
   3. ダミープラグを抜く。
   4. ホルダを挿入する
   5. ホルダステーションの真空引き
      1. ダミープラグ/もしくはホルダを挿入
      2. [EVAC]ボタンを押す
         1. TMP　MONITORを確認
            1. ACC　が点灯する
            2. RUNNING　が点灯するまで待つ。
      3. バルブClose
      4. ホルダステーションの電源Off