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このドキュメントは 東北大学 金属材料研究所 材料分析研究コア 分析電顕室 TEM講習会の資料(作成中)です。
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STEMモード:スクリーンでの作業
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スクリーンで観察条件を調整する場合
- 迅速に調整したい場合
- 明るいビームを使用したい場合
- 空間分解能にこだわらない場合
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- モード変更
- TEM->STEM
- scan停止
- ロンチグラム表示 アモルファス部分を使う
- カメラ長選択
- 標準6/8cm
- プローブサイズ選択
- 標準8c分解能優先 Sn優先-7/6c
- std focus
- ロンチグラム センタリング
- PL align 小蛍光板の中心の少し右下付近
- CL2絞り挿入・センタリング
- 標準cl2-2 40um
- CL絞り中心をロンチグラムの中心に合わせる
- スクリーン蓋を閉める
- scan再開(ロンチグラム解除)
- STEM像が表示される(検出器を挿入している場合)
STEMモード:ボトムマウントカメラ使用
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ccdカメラで観察条件を調整する場合
- 標準的なSTEM観察方法
- 空間分解能は良好
- プローブサイズ8c カメラ長6/8cm
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- モード変更
- TEM->STEM
- scan停止
- ロンチグラム表示 アモルファス部分を使う
- プローブサイズ 選択
- 8C
- カメラ長選択
- 6 or 8cm
- std focus