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このドキュメントは 東北大学 金属材料研究所 材料分析研究コア 分析電顕室 TEM講習会の資料(作成中)です。

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STEMモード:スクリーンでの作業

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スクリーンで観察条件を調整する場合

  1. モード変更
    1. TEM->STEM
  2. scan停止
    1. ロンチグラム表示 アモルファス部分を使う
  3. カメラ長選択
    1. 標準6/8cm
  4. プローブサイズ選択
    1. 標準8c分解能優先 Sn優先-7/6c
  5. std focus
  6. ロンチグラム センタリング
    1. PL align 小蛍光板の中心の少し右下付近
  7. CL2絞り挿入・センタリング
    1. 標準cl2-2 40um
    2. CL絞り中心をロンチグラムの中心に合わせる
  8. スクリーン蓋を閉める
  9. scan再開(ロンチグラム解除)
    1. STEM像が表示される(検出器を挿入している場合)

STEMモード:ボトムマウントカメラ使用

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ccdカメラで観察条件を調整する場合

  1. モード変更
    1. TEM->STEM
  2. scan停止
    1. ロンチグラム表示 アモルファス部分を使う
  3. プローブサイズ 選択
    1. 8C
  4. カメラ長選択
    1. 6 or 8cm
  5. std focus