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このドキュメントは　東北大学　金属材料研究所　材料分析研究コア　分析電顕室　TEM講習会の資料（作成中）です。

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スクリーンでの作業

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操作パネルとTEMセンターを用いて以下の操作を行えるようになる。

（参照）操作パネル図

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• モード変更（IMAGE/DIFF）
• 照射系調整
  • スポットサイズ
  • アルファ（照射領域）
  • ブライトネス
  • Beam Shift ( 照射系センタリング)
  • Beam Tilt/Cond Stig.　(省略)
• 結像系調整
  • 倍率・カメラ長
  • フォーカス・DIFFフォーカス
  • PL Align　（結像系センタリング）
• 絞り（CL1,CL2,OL upper, OL under, SA）
• 試料移動

CCDカメラの使い方

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（特にボトムマウント）CCDカメラを使用する際の明るさの設定を確認する。

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• 像モード
  • CLA1-1（φ150um）
  • スポットサイズ：1
  • α：Cs-L
  • スクリーン一杯にビームを広げる。
    • スクリーン上の撮影エリアのマーク程度まではビームを絞ってもよい。
  • 露光時間：0.15Sec (ボトム)　0.1Sec（サイド）
  • 撮影時の露光時間：Auto可
• DIFFモード
  • ボトムマウントCCD　（Ultrascan）
    • 基本的にDIFF観察には使用しない。
    • 使用する場合は、スクリーン上で予めビームストッパを用いて透過波を遮蔽しておく。
  • サイドマウントCCD　（Orius）
    • ダイレクトビームも入力可
      • スクリーン上でできるだけ暗くしてから撮影。
      • 撮影時の露光時間はマニュアルで設定する。
        • Viewの露光時間を基準にして少しずつ露光時間を延ばす。
        • Autoは使用しない。