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このドキュメントは　東北大学　金属材料研究所　材料分析研究コア　分析電顕室　TEM講習会の資料（作成中）です。

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第１回では、装置使用の前提知識の確認及び、実験の開始と終了について学習しました。

第２回では、TEM/STEMの操作方法について学習しました。

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第３回の実習内容

• STEM-EDS

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TEMモードでもEDSは可能ですが、取扱いが難しくメリットも少ない為、STEMモードのみ解説します。

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試料ホルダの挿抜を行う際は、必ずEDS検出器を退避すること。

• S-CHANGE を長押しすると検出器が測定位置から退避し、ゲートバルブがクローズします。
• INSERT / RETRACTはNG（ゲートバルブが空いたまま）
• 操作を誤ると検出器が故障する場合があります。（修理費用例：300万円） </aside>

STEM-EDSの流れ

1. TEMモードで視野探し
2. STEMモードへ移行
3. 倍率とフォーカスを合わせる
4. EDS測定ソフト（AnalysisStation）を起動する。
5. EDS検出器を挿入する。
6. ビーム調整
   1. ビームスキャンを停止する。
   2. EDSカウント数を確認する
   3. プローブ電流を調整する
   4. スキャン再開
7. 画像取得
8. 測定
   1. 測定条件設定
   2. （（多）点分析・マッピング）
9. EDS検出器を退避する（S-CHANGE位置）。
10. データ出力・データ出力