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第1回では、装置使用の前提知識の確認及び、実験の開始と終了について学習します。
- 知識:安全/環境/マニュアル・参考書等/設備/故障ポイント
- 実技:実験の開始~中断~終了
- エントリー機種(JEM-2100plus)と共通する箇所については説明を省略します。本コースの受講はJEM-2100plus 初級ライセンスの取得が前提です。
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内容
- 安全
- 省略:2100plus参照
- 電離放射線・強磁場・高電圧・高圧ガス・有害物質(Be)
- 寒剤・防火対策・緊急停止
- 環境
- 分電盤・照明・空調(エアコン・輻射パネル・換気・除湿機・空気清浄機)・内線・WiFi
- マニュアル・参考書等
- 省略:2100plus参照
- 参考書・ソフトウェア・Webサイト
- クイックマニュアル(準備中)
- マニュアル動画
- 設備
- 本体(鏡筒・操作パネル・PC等)
- 高圧タンク・レンズ電源
- EDS(検出器・アナライザ)
- GATAN類(室内・前室)
- コンプレッサー
- 電源ユニット
- 収差補正装置
- 冷却系(チラー・waterunit・コレクタ用)
- アクティブ除震・磁場キャンセラー
- 輻射パネルチラー
- ホルダステーション・イオンクリーナー
- ソララス(B13)
- 故障ポイント(操作ミスによる故障)
- ホルダ
- 対物レンズ付近
- 試料脱落(非磁性)
- 試料脱落(磁性体)
- ポールピースキャップ脱落・変形
- インギャップ絞り破損
- EDS
- カメラ・検出器
- 真空不良
- SIP損耗
- エミッタ損耗
- コンディショニングハンドル
- 開始~終了
- 状態確認(真空度・加速電圧・ステータス)
- 試料セット
- ホルダ挿入
- ACD・LN2補給
- ビーム出し・設定呼び出し・ビーム確認(スクリーン)
- (検鏡・撮影->次回以降)
- 中断
- ビーム停止
- ホルダ取り出し
- 試料取り外し
- ACDヒート
- ログ記録
関連項目
ARM200F:初級:安全
ARM200F:初級:環境
ARM200F:初級:マニュアル・参考書
ARM200F:初級:設備
ARM200F:初級:故障ポイント
ARM200F:初級:クイックマニュアル:開始~終了
ARM200F 試料セット(2軸傾斜ホルダ)