<aside> 💡

第1回では、装置使用の前提知識の確認及び、実験の開始と終了について学習します。

内容

  1. 安全
    1. 省略:2100plus参照
      1. 電離放射線・強磁場・高電圧・高圧ガス・有害物質(Be)
    2. 寒剤・防火対策・緊急停止
  2. 環境
    1. 分電盤・照明・空調(エアコン・輻射パネル・換気・除湿機・空気清浄機)・内線・WiFi
  3. マニュアル・参考書等
    1. 省略:2100plus参照
      1. 参考書・ソフトウェア・Webサイト
    2. クイックマニュアル(準備中)
    3. マニュアル動画
  4. 設備
    1. 本体(鏡筒・操作パネル・PC等)
    2. 高圧タンク・レンズ電源
    3. EDS(検出器・アナライザ)
    4. GATAN類(室内・前室)
    5. コンプレッサー
    6. 電源ユニット
    7. 収差補正装置
    8. 冷却系(チラー・waterunit・コレクタ用)
    9. アクティブ除震・磁場キャンセラー
    10. 輻射パネルチラー
    11. ホルダステーション・イオンクリーナー
    12. ソララス(B13)
  5. 故障ポイント(操作ミスによる故障)
    1. ホルダ
    2. 対物レンズ付近
      1. 試料脱落(非磁性)
      2. 試料脱落(磁性体)
      3. ポールピースキャップ脱落・変形
      4. インギャップ絞り破損
    3. EDS
    4. カメラ・検出器
    5. 真空不良
      1. SIP損耗
      2. エミッタ損耗
    6. コンディショニングハンドル
  6. 開始~終了
    1. 状態確認(真空度・加速電圧・ステータス)
    2. 試料セット
    3. ホルダ挿入
    4. ACD・LN2補給
    5. ビーム出し・設定呼び出し・ビーム確認(スクリーン)
    6. (検鏡・撮影->次回以降)
    7. 中断
    8. ビーム停止
    9. ホルダ取り出し
    10. 試料取り外し
    11. ACDヒート
    12. ログ記録

関連項目

ARM200F:初級:安全

ARM200F:初級:環境

ARM200F:初級:マニュアル・参考書

ARM200F:初級:設備

ARM200F:初級:故障ポイント

ARM200F:初級:クイックマニュアル:開始~終了

ARM200F 試料セット(2軸傾斜ホルダ)